整机规格：500×300×300（长×宽×高）mm
整机重量：35 Kg
反应舱规格：Φ165×L210 mm (耐热玻璃)
反应舱有效容积：4.5 L
输入电源：220 V／50Hz
整机输入功率：400 W
射频功率：0～150Ｗ（连续可调）
射频频率：13.56 MHz
常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等